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Antecedentes del Cliente
La empresa se especializa en la producción de fotorresistentes y gases especiales electrónicos para semiconductores. El proceso de purificación por oxidación con ozono en su fábrica requiere un suministro estable de oxígeno de alta pureza (≥99.2%), y el equipo debe cumplir con las normas de seguridad de gases industriales de Corea del Sur y los requisitos de producción libre de polvo de la industria de semiconductores.
Puntos de Dolor Clave
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El modo original de suministro de oxígeno líquido tiene pérdidas de transporte (aproximadamente el 5%) y se ve muy afectado por la fluctuación de los precios internacionales del oxígeno líquido, lo que resulta en una estabilidad de suministro insuficiente;
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La producción de materiales semiconductores tiene requisitos extremadamente altos para la limpieza del oxígeno, que necesita controlar el contenido de partículas ≤ 0.1μm y eliminar la contaminación por aceite;
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La fábrica tiene espacio limitado, lo que requiere un diseño de equipo compacto, al tiempo que cumple con los estrictos requisitos de emisión ambiental de Corea del Sur.
Solución
GNEE proporcionó un conjunto de sistema de oxígeno VPSA de alta pureza de 800Nm³/h, adoptando una solución personalizada de "proceso sin aceite + purificación de múltiples etapas":
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Se seleccionan compresores de aire sin aceite importados, combinados con filtros de tres etapas (filtración de precisión + adsorción de carbón activado + eliminación de aceite de alta eficiencia), lo que garantiza que el contenido de partículas de oxígeno sea inferior a 0.05μm y el contenido de aceite sea ≤ 0.001mg/m³;
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Se adoptan tamices moleculares a base de litio de alta eficiencia y una estructura de adsorción de doble torre, y al optimizar el ciclo de adsorción-desorción, la pureza del oxígeno se mantiene establemente en 99.3%-99.5%;
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El equipo adopta un diseño integrado modular, y su espacio ocupado es un 40% menor que el del equipo tradicional, cumpliendo con los requisitos de espacio de la fábrica.
Efectos de la Aplicación
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Suministro Estable: Se realiza el modo de producción de oxígeno in situ de "producción bajo demanda y uso inmediato", reemplazando completamente el suministro de oxígeno líquido. El costo anual de pérdida de transporte se reduce en más de 300.000 dólares estadounidenses, y la fluctuación de la pureza del oxígeno es ≤ 0.1%;
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Mejora del Proceso: El oxígeno de alta pureza aumenta la eficiencia de purificación del fotorresistente en un 15%, y el rendimiento del producto aumenta del 96.2% al 98.5%, obteniendo la certificación de la cadena de suministro de Samsung Electronics;
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Cumplimiento y Ahorro de Energía: El equipo ha pasado las certificaciones relevantes, con emisiones de gases residuales inferiores a los estándares de protección ambiental de Corea del Sur. El consumo de energía unitario de oxígeno es de 0.35kW·h/m³, que es un 8% menor que el del equipo local en Corea del Sur.
Además de los Generadores de Oxígeno VPSA, también producimos Generadores de Oxígeno PSA, tanques de almacenamiento, intercambiadores de calor y otros productos. Si está interesado en los Sistemas de Oxígeno VPSA u otros productos, no dude en enviar un correo electrónico a info@gneeheatex.com. Estaremos encantados de atenderle.
